Reflektor und Verfahren zur Herstellung eines Reflektors

EP3807718 Art B1 9. April 2025

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807718
Aktenzeichen: EP19725992
Anmeldetag: 23. Mai 2019
Veröffentlichung: 9. April 2025
Erteilung: 9. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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