Verfahren zum Konfigurieren eines Produktionsprozesses zur Herstellung eines Halbleiterartikels, Lithographisches Gerät und Computerprogrammprodukt dafür

EP3807720 Art B1 11. Mai 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807720
Aktenzeichen: EP19786562
Anmeldetag: 9. Oktober 2019
Veröffentlichung: 11. Mai 2022
Erteilung: 11. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G05B13/02H01L21/66G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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