Rf-Schaltung mit Direktantrieb für Substratverarbeitungssysteme

EP3807921 Art B1 31. Dezember 2025

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3807921
Aktenzeichen
EP19820343
Anmeldetag
23. Mai 2019
Veröffentlichung
31. Dezember 2025
Erteilung
31. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H02M3/155H03K5/135
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Lam Research Corporation
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Kontrus, Gerhard Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Elektronik & Schaltungstechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Optik & Fototechnik
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