Vorrichtung zur Reduzierung von Überlagerungsfehlern

EP3807924 Art A1 21. April 2021

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3807924
Aktenzeichen
EP18928545
Anmeldetag
30. Juli 2018
Veröffentlichung
21. April 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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