Optische Baugruppe zur Verringerung einer Spektralen Bandbreite eines Ausgabestrahls eines Lasers

EP3807961 Art A1 21. April 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807961
Aktenzeichen: EP19727388
Anmeldetag: 28. Mai 2019
Veröffentlichung: 21. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/08H01S3/1055H01S3/106G03F7/20H01S3/225H01S3/081

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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