Verfahren zur Herstellung einer Mems-Vorrichtung sowie Mems-Vorrichtung
EP3808699
Art A1
21. April 2021
Anmelder: Tohoku University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3808699
- Aktenzeichen
- EP19818793
- Anmeldetag
- 22. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 21. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B7/00B81C3/00B81B3/00H01L23/02H01L23/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tohoku University
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tohoku University
Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Plougmann Vingtoft a/s
Plougmann Vingtoft a/s · Hellerup