Kühlvorrichtung für ein Gerät mit Geladenem Teilchenstrahl

EP3809445 Art B1 12. März 2025

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3809445
Aktenzeichen: EP20200126
Anmeldetag: 5. Oktober 2020
Veröffentlichung: 12. März 2025
Erteilung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26H01J37/30B01L7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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