Dampf als Schutzmittel und Lebensverlängerer in Optischen Systemen
EP3811141
Art A1
28. April 2021
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3811141
- Aktenzeichen
- EP19856120
- Anmeldetag
- 23. August 2019
- Veröffentlichung
- 28. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/15G03F7/20// G01N21/95G02B1/02G01N21/33
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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