Überlagerungsmessung mit Ausseraxialer Beleuchtung unter Verwendung von Bildgebung mit Zwei Beugungsordnungen
EP3811154
Art A1
28. April 2021
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3811154
- Aktenzeichen
- EP18931575
- Anmeldetag
- 14. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 28. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B7/38G01N21/47G01N21/952
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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