Verfahren zur Bestimmung von Aberrationen in von einem Ladungsteilchenstrahlgerät Erhaltenen Bildern, Verfahren zur Bestimmung einer Einstellung eines Ladungsteilchenstrahlgeräts, und Ladungsteilchenstrahlgerät

EP3813091 Art A1 28. April 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3813091
Aktenzeichen: EP19204524
Anmeldetag: 22. Oktober 2019
Veröffentlichung: 28. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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