Geteilte Ersatz-Metall-Gate-Integration

EP3813124 Art A1 28. April 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3813124
Aktenzeichen: EP19204734
Anmeldetag: 22. Oktober 2019
Veröffentlichung: 28. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/417H01L29/06H01L29/775B82Y10/00H01L27/088H01L29/40H01L29/423H01L29/49H01L29/78H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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