Flüssige Zusammensetzung zur Herstellung von Knn Film und Verfahren zur Herstellung von Knn Film unter Verwendung Dieser Flüssigen Zusammensetzung

EP3813131 Art A1 28. April 2021

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3813131
Aktenzeichen: EP19822480
Anmeldetag: 7. Juni 2019
Veröffentlichung: 28. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L41/187H01L41/318C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von