Verfahren und Vorrichtung zur Effizienten Erzeugung von Hohen Oberschwingungen

EP3816721 Art A1 5. Mai 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3816721
Aktenzeichen: EP19205875
Anmeldetag: 29. Oktober 2019
Veröffentlichung: 5. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/35G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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