Vorrichtung zum Positionieren und Eingespannten Härten

EP3818413 Art A1 12. Mai 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3818413
Aktenzeichen: EP19727038
Anmeldetag: 3. Juni 2019
Veröffentlichung: 12. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62B25J15/02B65G47/86G03F1/64G03F1/68G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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