Abstützung einer Optischen Einheit

EP3818414 Art B1 31. August 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3818414
Aktenzeichen: EP19734740
Anmeldetag: 25. Juni 2019
Veröffentlichung: 31. August 2022
Erteilung: 31. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/182G02B7/183

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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