Verfahren zur Herstellung einer Kapillare für eine Photonische Hohlkernkristallfaser

EP3819266 Art A1 12. Mai 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3819266
Aktenzeichen: EP19207624
Anmeldetag: 7. November 2019
Veröffentlichung: 12. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C03B37/012C03B37/027C03C15/00C03C25/68G02B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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