Schutzschichtbildner, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterchips und Verfahren zur Herstellung von (meth)acrylharz

EP3819931 Art A1 12. Mai 2021

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3819931
Aktenzeichen
EP20203961
Anmeldetag
26. Oktober 2020
Veröffentlichung
12. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L21/027H01L21/02C09J133/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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