Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen
EP3823008
Art A1
19. Mai 2021
Anmelder: Paul Scherrer Institut, ETH Zurich, ETH Transfer HG E43-49 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3823008
- Aktenzeichen
- EP19208585
- Anmeldetag
- 12. November 2019
- Veröffentlichung
- 19. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/329H01L21/336H01L21/331H01L29/872H01L29/78H01L29/739H01L29/06H01L21/04H01L29/16H01L29/32H01L29/417H01L21/3063// H01L29/778H01L29/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Paul Scherrer Institut
ETH Zurich, ETH Transfer HG E43-49 - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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