Verfahren zur Demontage eines Stapels von mindestens Drei Substraten
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3823013
- Aktenzeichen
- EP20207401
- Anmeldetag
- 13. November 2020
- Veröffentlichung
- 28. Juni 2023
- Erteilung
- 28. Juni 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683
Abstract
L'invention concerne les techniques de transfert de films minces dans le domaine de la microélectronique. Elle propose un procédé de démontage d'un empilement 123 d'au moins trois substrats S1, S2, S3 présentant entre eux deux interfaces, dont une interface 12 présente une énergie d'adhérence E12 et une interface 23 présente une énergie d'adhérence E23, avec E12 inférieure à E23, le procédé comprenant :- Procéder à un retrait de matière 110 sur le premier substrat S1, pour exposer une surface 21 du deuxième substrat S2,- Reporter 120 l'empilement sur un film adhésif souple 4 pour que la surface 21 présente avec une couche adhésive 41 du film 4 une énergie d'adhérence E24 supérieure à E23, et- Démonter 130 le troisième substrat S3 au niveau de l'interface 23 entre le deuxième substrat S2 et le troisième substrat S3.Le procédé permet d'ouvrir l'empilement par son interface de plus forte énergie d'adhérence.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Stammsitz in Nizza, zusätzlich in Grenoble, Sophia Antipolis, Paris und mit Vertretung in Monaco. Zugelassen bei INPI, EPA, WIPO und dem monegassischen Patentamt, mit breiter Mandantschaft von Start-ups bis Großkonzernen.
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