Verfahren zur Skalierung einer Gate-Länge

EP3823036 Art A1 19. Mai 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3823036
Aktenzeichen: EP19209854
Anmeldetag: 18. November 2019
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/423H01L21/283// H01L29/778H01L29/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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