Aktuator, Probenpositionierungsvorrichtung und Ladungsteilchenstrahlsystem

EP3825578 Art A1 26. Mai 2021

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3825578
Aktenzeichen: EP20208673
Anmeldetag: 19. November 2020
Veröffentlichung: 26. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: F16H25/20H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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