Strahlungsquelle und Vorrichtung zur Rückkopplung von Emittierter Strahlung in eine Laserquelle

EP3827488 Art B1 13. Dezember 2023

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3827488
Aktenzeichen: EP19744664
Anmeldetag: 22. Juli 2019
Veröffentlichung: 13. Dezember 2023
Erteilung: 13. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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