Vorrichtung und Verfahren zur Verbindung einer Faservorform mit einem Druckversorgungssystem

EP3832364 Art A1 9. Juni 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3832364
Aktenzeichen: EP20205580
Anmeldetag: 4. November 2020
Veröffentlichung: 9. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/02C03B37/012C03B37/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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