Austauschbare Und/oder Zusammenklappbare Randringanordnungen zur Plasmahüllenabstimmung Einschliesslich Randringpositionierungs- und -Zentrierfunktionen
EP3837713
Art A1
23. Juni 2021
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3837713
- Aktenzeichen
- EP18929891
- Anmeldetag
- 10. September 2018
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/68// H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
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3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München