Verfahren zur Bestimmung von Defektdichten in Halbleiterscheiben aus Einkristallinem Silizium
EP3839107
Art A1
23. Juni 2021
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3839107
- Aktenzeichen
- EP19217520
- Anmeldetag
- 18. Dezember 2019
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B29/06B23K26/00C30B33/06G01N21/88H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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