Optische Komponente auf Basis von Photonischen Hohlkernkristallfasern zur Breitbandigen Strahlungserzeugung

EP3839586 Art A1 23. Juni 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3839586
Aktenzeichen
EP19217381
Anmeldetag
18. Dezember 2019
Veröffentlichung
23. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/02// G02B6/255G02B6/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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