Digitales Holographisches Dunkelfeldmikroskop und Zugehöriges Messverfahren

EP3839635 Art A1 23. Juni 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Stichting VU, Stichting Nederlandse Wetenschappelijk, Universiteit van Amsterdam 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3839635
Aktenzeichen: EP19216970
Anmeldetag: 17. Dezember 2019
Veröffentlichung: 23. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03H1/04G03H1/26G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Stichting VU
Stichting Nederlandse Wetenschappelijk
Universiteit van Amsterdam
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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