Selektive Abscheidung auf Siliciumhaltigen Oberflächen

EP3844799 Art A1 7. Juli 2021

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3844799
Aktenzeichen: EP19854867
Anmeldetag: 23. August 2019
Veröffentlichung: 7. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105H01L21/32H01L21/02C23C14/58C23C16/04C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von