Verwendung von Identifikatoren zur Zuordnung von Randringteilenummern zu Schlitznummern
EP3844805
Art B1
4. Oktober 2023
Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3844805
- Aktenzeichen
- EP19855823
- Anmeldetag
- 2. August 2019
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2023
- Erteilung
- 4. Oktober 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/673H01L21/67H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
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16
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Weitere Vertreter
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Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München