Vakuumpumpe und Vakuumpumpensystem

EP3845764 Art B1 3. Mai 2023

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3845764
Aktenzeichen
EP21166257
Anmeldetag
31. März 2021
Veröffentlichung
3. Mai 2023
Erteilung
3. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
F04D1/00F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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