Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung eines Geladenen Teilchenstrahls

EP3846197 Art A1 7. Juli 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3846197
Aktenzeichen: EP20150384
Anmeldetag: 6. Januar 2020
Veröffentlichung: 7. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153// H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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