Höhenmessvorrichtung, Gerät mit Geladenem Teilchenstrahl und Höhenmessverfahren

EP3848669 Art B1 19. Juni 2024

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3848669
Aktenzeichen: EP20213469
Anmeldetag: 11. Dezember 2020
Veröffentlichung: 19. Juni 2024
Erteilung: 19. Juni 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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