Markerfilterndes Verfahren zur Automatischen Waferzentrierung und Zugehöriges System
EP3850658
Art A1
21. Juli 2021
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3850658
- Aktenzeichen
- EP19859201
- Anmeldetag
- 9. September 2019
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/67H01L21/677H01L21/66// H01L23/544
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München