Molekularvakuumpumpe und Verfahren zum Beeinflussen des Saugvermögens einer Solchen
EP3851680
Art B1
13. September 2023
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3851680
- Aktenzeichen
- EP20217527
- Anmeldetag
- 29. Dezember 2020
- Veröffentlichung
- 13. September 2023
- Erteilung
- 13. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/52G01M3/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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