Ladungsteilchenbeurteilungswerkzeug, Inspektionsverfahren

EP3852127 Art A1 21. Juli 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3852127
Aktenzeichen: EP20216890
Anmeldetag: 23. Dezember 2020
Veröffentlichung: 21. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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