Verdrehsichere Fluidverbindung

EP3853513 Art A1 28. Juli 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3853513
Aktenzeichen: EP19753327
Anmeldetag: 12. August 2019
Veröffentlichung: 28. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: F16L37/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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