Hochauflösende Fehlerüberprüfungsbilderzeugung durch Generative Kontradiktorische Netzwerke
EP3853592
Art B1
6. September 2023
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3853592
- Aktenzeichen
- EP19862167
- Anmeldetag
- 20. September 2019
- Veröffentlichung
- 6. September 2023
- Erteilung
- 6. September 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G06T7/00G06N3/02G06T5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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