Schätzung von Asymmetrischen Aberrationen
EP3853665
Art B1
20. Dezember 2023
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3853665
- Aktenzeichen
- EP18938833
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2018
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2023
- Erteilung
- 20. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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