Mehrstrahl-Elektronencharakterisierungswerkzeug mit Telezentrischer Beleuchtung
EP3853880
Art A1
28. Juli 2021
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3853880
- Aktenzeichen
- EP19873602
- Anmeldetag
- 8. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 28. Juli 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/05H01J37/10H01J37/06H01J37/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank