Auf Tiefenlernen Basierende Adaptive Regionen von Interesse für Kritische Dimensionsmessungen von Halbleitersubstraten
EP3853885
Art B1
30. Juli 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3853885
- Aktenzeichen
- EP19871388
- Anmeldetag
- 1. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2025
- Erteilung
- 30. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06T7/00G06T7/60H01L21/66H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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