Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von Wafern
EP3853887
Art A1
28. Juli 2021
Anmelder: Lam Research AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3853887
- Aktenzeichen
- EP19779383
- Anmeldetag
- 16. September 2019
- Veröffentlichung
- 28. Juli 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/02F16K11/22B08B3/08B01F3/08B05B1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München