Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl und Verfahren zur Einstellung einer Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl

EP3855472 Art A1 28. Juli 2021

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3855472
Aktenzeichen: EP21150410
Anmeldetag: 6. Januar 2021
Veröffentlichung: 28. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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