Verfahren zur Herstellung von Ic-Bauelementen auf Wafern, Zugehörige Wafer und Retikel

EP3855493 Art A1 28. Juli 2021

Anmelder: Murata Manufacturing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3855493
Aktenzeichen: EP20305045
Anmeldetag: 21. Januar 2020
Veröffentlichung: 28. Juli 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/02H01L23/00G03F7/20// G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Manufacturing

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Kyoto. Murata entwickelt und produziert elektronische Bauelemente wie Kondensatoren, Sensoren und Kommunikationsmodule für Elektronikgeräte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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