Beschichtungsvorrichtung, Prozesskammer, sowie Verfahren zum Beschichten eines Substrats und Substrat Beschichtet mit Zumindest einer Materialschicht

EP3856948 Art A2 4. August 2021

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3856948
Aktenzeichen: EP19795203
Anmeldetag: 28. Oktober 2019
Veröffentlichung: 4. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/28C23C14/08C23C14/06C23C14/00C23C14/54C30B23/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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