Halterung eines Optischen Elements

EP3857281 Art B1 16. November 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3857281
Aktenzeichen: EP19782496
Anmeldetag: 24. September 2019
Veröffentlichung: 16. November 2022
Erteilung: 16. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/02G02B7/182G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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