Methodologie zur Reinigung und zum Abscheiden von Dielektrika bei der Herstellung Supraleitender Interconnects
EP3857591
Art B1
20. August 2025
Anmelder: NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3857591
- Aktenzeichen
- EP19794298
- Anmeldetag
- 3. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 20. August 2025
- Erteilung
- 20. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/768H10N60/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NORTHROP GRUMMAN SYSTEMS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Northrop Grumman
US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.
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Fachgebiete
Vertreten von
Iqbal, Md Mash-Hud
Cambridge, Großbritannien
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Weitere Vertreter
-
Marks & Clerk LLP
Marks & Clerk LLP · Luxembourg