Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Einführung von Euv-Zielmaterial in eine Euv-Kammer

EP3858114 Art A1 4. August 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3858114
Aktenzeichen: EP19784184
Anmeldetag: 25. September 2019
Veröffentlichung: 4. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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