Gasmischung zur Schnellen Temperaturregelung einer Kühlhaube

EP3861406 Art A1 11. August 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3861406
Aktenzeichen: EP19773837
Anmeldetag: 26. September 2019
Veröffentlichung: 11. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20F25D3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Optik & Fototechnik

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