Anreicherung und Radioisotopproduktion

EP3864676 Art B1 2. November 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3864676
Aktenzeichen
EP19765740
Anmeldetag
13. September 2019
Veröffentlichung
2. November 2022
Erteilung
2. November 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G21G1/12B01D59/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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