Verfahren, Anordnung und Vorrichtung zur Verbesserten Steuerung von Breitbandiger Strahlungserzeugung

EP3865931 Art A1 18. August 2021

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3865931
Aktenzeichen: EP20156804
Anmeldetag: 12. Februar 2020
Veröffentlichung: 18. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/01G02F1/383G03F7/00G02B6/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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